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中科院微電子臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

更新時間☁☁:2021-12-27

簡要描述☁☁:

我研究室生產的KW型勻膠機適應於半導體矽片▩╃,載玻片▩╃,晶片▩╃,基片▩╃,ITO導電玻璃等工藝▩╃,製版的表面塗覆◕╃•☁。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點▩╃,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性◕╃•☁。通常配真空泵一起使用◕╃•☁。目前的型號有KW-4A型和KW-5型◕╃•☁。

產品主要特點

1│☁、開關電流調速▩╃,穩定效能更好▩╃,轉速調節以數字顯示為準◕╃•☁。

2│☁、轉速在500~8000轉/分範圍內非常穩定◕╃•☁。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋塗儀/塗膠機

產品簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應於半導體矽片▩╃,載玻片▩╃,晶片▩╃,基片▩╃,ITO導電玻璃等工藝▩╃,製版的表面塗覆◕╃•☁。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點▩╃,並能保證半導體材料中塗膠厚度的一致性和均勻性◕╃•☁。通常配真空泵一起使用◕╃•☁。目前的型號有KW-4A型和KW-5型◕╃•☁。 

產品主要特點 

1│☁、開關電流調速▩╃,穩定效能更好▩╃,轉速調節以數字顯示為準◕╃•☁。 

2│☁、轉速在500~8000轉/分範圍內非常穩定◕╃•☁。   

3│☁、採用雙轉速◕╃•☁。在啟動之後▩╃,先以低速運轉▩╃,使膠攤開▩╃,然後自動轉換到高速運轉◕╃•☁。兩種轉速及相應的時間分別可調▩╃,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘◕╃•☁。 

4│☁、具有定時功能◕╃•☁。  

5│☁、測速採用光電的辦法▩╃,產生光電脈衝▩╃,由晶體分頻測速準確性高◕╃•☁。  

6│☁、"吸片"採用電磁閥控制氣路▩╃,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作▩╃,適合流水線的工藝▩╃,提高了效率◕╃•☁。   

7│☁、在安裝結構上▩╃,採取了減振措施▩╃,保證了在運轉時噪音低◕╃•☁。 

效能指標☁☁:

引數

指標

調速範圍和勻膠時間

Ⅰ檔調速範圍☁☁:500-2000轉/分Ⅰ檔勻膠時間☁☁:2-18秒

Ⅱ檔調速範圍☁☁:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間☁☁:3-60秒

適用

Φ5-Φ100mm矽片及其它材料等勻膠

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速穩定度☁☁:±1%▩╃,膠的均勻性☁☁:±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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